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申请/专利权人：芯康检测技术无锡有限公司

摘要：本发明公开了一种芯片失效分析切片制样方法及设备，涉及芯片取样技术领域，该种芯片失效分析切片制样方法，包括以下步骤：S1：通过取样机构对失效芯片进行取样；S2：对取样的失效芯片进行清洗操作。该种芯片失效分析切片制样方法及设备，在对失效芯片进行取样时，能够先将失效芯片向上移动，使其与输送机的顶部产生间隙，接着，通过多个夹板其侧壁进行居中夹持，夹持更加方便快捷、效果更好，从而保证取样的效率和效果，同时，避免对其表面进行夹紧，能够保证后续清洗的效果，并且，能够保证夹板与失效芯片的夹紧力恒定，不仅避免其松动甚至脱落，更加稳定可靠，而且避免对失效芯片造成损坏，保证后续失效分析的准确性。

主权项：1.一种芯片失效分析切片制样设备，其特征在于：包括设置在底板1上的输送机11和用于对失效芯片进行取样的取样机构，所述取样机构包括U形板12，且U形板12通过移动机构9与底板1的顶部连接，所述U形板12的底部固定连接有升降组件20，且升降组件20的下端固定连接有移动板13，所述移动板13的侧壁通过压力控制机构10连接有多个阵列设置的移动块17，且移动块17的底部通过第一伸缩机构4连接有夹板18，所述夹板18的侧壁固定连接有三角板19，且三角板19包括第一斜面1901，所述移动块17的移动通过推动机构2进行推动，且移动板13的底部通过第二伸缩机构5连接有移动管14，所述移动管14的下端固定连接有吸盘15，且移动板13的底部设置有用于对吸盘15进行抽气的抽气机构6；所述压力控制机构10包括插设在各个移动块17侧壁的两个对称设置的第一T形导杆16，且第一T形导杆16的一端与移动板13的侧壁固定，所述移动板13的侧壁固定连接有多个阵列设置的L形板1001，且L形板1001的侧壁固定插设有L形管1002，所述L形管1002内填充有液压油，且L形管1002内插设有配重块1003，所述L形管1002的底部插设有推动杆1004，且推动杆1004的另一端与移动块17的侧壁固定；所述推动机构2包括移动框201，且移动框201通过移动组件3与移动板13的顶部连接，所述移动框201的侧壁固定连接有多个阵列设置的连接板202，所述连接板202的底部固定连接有推动架203，且推动架203包括第二斜面204；所述移动组件3包括固定连接在移动框201底部的两个对称设置的第一套杆301，且第一套杆301的侧壁套设有第一套管302，所述第一套管302的下端与移动板13的顶部固定，且移动框201的底部转动连接有第一螺纹杆304，所述第一螺纹杆304的侧壁螺纹连接有第一螺纹管303，所述第一螺纹管303的下端与移动板13的顶部固定，且移动框201的顶部固定连接有第一电机305；所述第二伸缩机构5包括固定连接在移动板13底部的两个对称设置的第二固定管501，且第二固定管501内插设有第二移动杆502，所述第二移动杆502的下端与移动管14的顶部固定，且各个第二固定管501的侧壁套设有第二弹簧503；所述抽气机构6包括固定连接在移动板13底部的L形块605，且L形块605的侧壁固定连接有固定罩601，所述固定罩601内通过复位机构7连接有滑动板602，且滑动板602以及移动管14的移动通过拉动机构8进行拉动，所述固定罩601的底部固定连接有通气阀603，所述固定罩601和移动管14之间固定连接有抽气管604，且抽气管604内设置有单向阀；所述复位机构7包括固定连接在固定罩601侧壁的支撑板701，且支撑板701的顶部固定连接有两个对称设置的第二T形导杆702，所述第二T形导杆702的侧壁套设有滑块703，所述滑块703与滑动板602的侧壁固定，且各个第二T形导杆702的侧壁套设有第三弹簧704；所述拉动机构8包括固定连接在滑动板602侧壁的支撑块801，且移动板13的顶部固定连接有支架803，所述支架803的侧壁固定连接有第二电机804，所述第二电机804的输出端固定连接有绕线辊805，且移动板13的顶部固定连接有导线轮802，所述导线轮802的侧壁滑动连接有第一拉绳806，且第一拉绳806的一端绕设在绕线辊805的侧壁，所述第一拉绳806的另一端贯穿移动板13的底部并与支撑板701的顶部固定，所述支撑块801的底部固定连接有第二拉绳807，且第二拉绳807的下端与移动管14的顶部固定，所述夹板18的侧壁固定连接有距离传感器808，且第二电机804与距离传感器808电性连接。

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