龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：JSW阿克迪纳系统有限公司
摘要：根据本实施方式的搬送装置是被配置成搬送基板100以便用线性激光束15照射基板100的搬送装置600，并且包括：悬浮单元10，其包括装载区域，基板100被装载到该装载区域中，悬浮单元10被配置成使基板悬浮在悬浮单元10的上表面上方；第一保持机构，其被配置成将基板保持在悬浮单元上方；第一移动机构，其被配置成使第一保持机构沿相对于激光束的线方向倾斜的第一搬送方向移动；多个推销501，其布置在悬浮单元的装载区域中，并且设置成可上下移动，以从移载基板的移载机接收基板；以及旋转机构68，其布置在悬浮单元的装载区域中的多个推销之间，并被配置成旋转基板。
主权项：1.搬送装置，其被配置成搬送基板，以便用线性激光束照射所述基板，所述搬送装置包括：悬浮单元，其包括装载区域，基板装载到所述装载区域中，所述悬浮单元被配置成使所述基板悬浮在所述悬浮单元的上表面上方；第一保持机构，其被配置成将所述基板保持在所述悬浮单元上方；第一移动机构，其被配置成使所述第一保持机构沿当俯视观察时相对于所述激光束的线方向倾斜的第一搬送方向移动，以改变所述激光束在所述基板上的照射位置；多个推销，其布置在所述悬浮单元的装载区域中，并且设置成能够上下移动，以从移载所述基板的移载机接收所述基板；以及旋转机构，其布置在所述悬浮单元的装载区域中的多个推销之间，并被配置成旋转所述基板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： JSW阿克迪纳系统有限公司 搬送装置、移载方法、搬送方法及半导体装置的制造方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号