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申请/专利权人：中国科学院微电子研究所
摘要：一种透明样品的亚表面缺陷检测方法及装置，方法包括：利用激光共聚焦方法确定所述透明样品亚表面缺陷大致位置；对所述亚表面缺陷的散射光形成的像进行过焦扫描，以得到散射光光场的纵向分布信息；根据所述纵向分布信息及所述大致位置确定所述亚表面缺陷的实际位置、尺寸及形态。该方法及装置利用激光共聚焦法获取最佳焦面信息的同时，获取纵向分布的离焦信息，保留了离焦数据，最大程度的提取亚表面缺陷特征，进一步提高缺陷检测精度和灵敏度。
主权项：1.一种透明样品的亚表面缺陷检测方法，包括：利用激光共聚焦方法确定所述透明样品亚表面缺陷大致位置，具体包括：确定所述透明样品的最佳物面，对所述最佳物面形成的散射光进行光电探测，获得最佳物面的成像信息，根据所述成像信息确定所述透明样品亚表面缺陷的大致位置；对所述亚表面缺陷的散射光形成的像进行过焦扫描，以得到散射光光场的纵向分布信息，具体包括：在预定范围内对所述像进行过焦扫描，获得光场沿纵向分布的多维数据图像；根据所述多维数据图像构建光场分布数据立方体；根据所述光场分布数据立方体提取所述亚表面缺陷扰动散射纵向分布模式；根据所述纵向分布信息及所述大致位置确定所述亚表面缺陷的实际位置、尺寸及形态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院微电子研究所 透明样品的亚表面缺陷检测方法
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