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一种超声换能单元及其制备方法、超声换能器件 

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申请/专利权人:京东方科技集团股份有限公司

摘要:本申请实施例涉及超声换能技术领域,公开了一种超声换能单元及其制备方法、超声换能器件,包括:衬底;第一电极,设置在所述衬底的一侧;第二电极,设置在所述第一电极背离所述衬底的一侧,且所述第一电极与所述第二电极之间存在空腔;感光层,设置在所述第一电极靠近所述衬底一侧的表面,且所述感光层在所述衬底上的正投影与所述第一电极在所述衬底上的正投影至少部分交叠,或者设置在所述第二电极背离所述衬底一侧的表面,且所述感光层在所述衬底上的正投影与所述第二电极在所述衬底上的正投影至少部分交叠。

主权项:1.一种超声换能单元,其特征在于,包括:衬底;第一电极,设置在所述衬底的一侧;第二电极,设置在所述第一电极背离所述衬底的一侧,且所述第一电极与所述第二电极之间存在空腔;感光层,设置在所述第一电极靠近所述衬底一侧的表面,且所述感光层在所述衬底上的正投影与所述第一电极在所述衬底上的正投影至少部分交叠,或者设置在所述第二电极背离所述衬底一侧的表面,且所述感光层在所述衬底上的正投影与所述第二电极在所述衬底上的正投影至少部分交叠;振膜,设置在所述空腔背离所述衬底一侧。

全文数据:

权利要求:

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