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申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司
摘要：本公开提供了一种超声换能基板、换能基板的制作方法以及检测方法，超声换能基板包括：基底，以及位于所述基底上的多个发射单元和多个接收单元；其中：所述发射单元，包括第一换能结构层，所述第一换能结构层被配置为将接收到的电信号转换为超声波信号；所述接收单元，包括像素电路结构，以及与所述像素电路结构耦合的第二换能结构层，所述像素电路结构靠近所述基底设置，所述第二换能结构层被配置为将接收到的超声波信号转换为电信号后输入给所述像素电路结构。
主权项：1.一种超声换能基板，其特征在于，包括：基底，以及位于所述基底上的多个发射单元和多个接收单元；其中：所述发射单元，包括第一换能结构层，所述第一换能结构层被配置为将接收到的电信号转换为超声波信号；所述接收单元，包括像素电路结构，以及与所述像素电路结构耦合的第二换能结构层，所述像素电路结构靠近所述基底设置，所述第二换能结构层被配置为将接收到的超声波信号转换为电信号后输入给所述像素电路结构；所述第一换能结构层包括：第一空腔，靠近所述基底设置；第一钝化层，位于所述第一空腔背离所述基底一侧，所述第一钝化层在所述基底上的正投影覆盖所述第一空腔在所述基底上的正投影；第一电极层，位于所述第一钝化层背离所述基底一侧；压电结构层，位于所述第一电极层背离所述基底一侧，所述压电结构层包括至少一层第一压电层；第二电极层，位于远离所述基底一侧的第一压电层上；当所述压电结构层包括两层所述第一压电层时，两层所述第一压电层之间设置第三电极层；其中，所述第二电极层和所述第一电极层接地，或者所述第三电极层接地。
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百度查询： 京东方科技集团股份有限公司 超声换能基板、换能基板的制作方法以及检测方法
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