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申请/专利权人：中国科学院深圳先进技术研究院

摘要：本申请涉及电容器领域，具体公开了一种叠层结构介电储能电容器的制备方法。其包括镀铂硅片、涂覆于所述镀铂硅片上的插入层和铁电层和设置于插入层和铁电层上方的顶电极，插入层的原料为钛酸类陶瓷薄膜前驱体溶液，铁电层的原料为Aurivillius相化合物陶瓷薄膜前驱体溶液。其制备方法为先制备钛酸类陶瓷薄膜前驱体溶液，再制备Aurivillius相化合物陶瓷薄膜前驱体溶液，然后将两种溶液分别旋涂在镀铂硅片上制备插入层和铁电层，最后将金属电极沉积到插入层和铁电层上得到顶电极。本申请的叠层结构介电储能电容器具有优良的储能密度以及储能效率。

主权项：1.一种叠层结构介电储能电容器，其特征在于：包括镀铂硅片、涂覆于所述镀铂硅片上的插入层和铁电层和设置于插入层和铁电层上方的顶电极，所述插入层的原料为钛酸类陶瓷薄膜前驱体溶液，所述铁电层的原料为Aurivillius相化合物陶瓷薄膜前驱体溶液；所述钛酸类陶瓷薄膜前驱体溶液为SrTiO3陶瓷薄膜前驱体溶液和Bi0.5Na0.5TiO3陶瓷薄膜前驱体溶液的一种或多种；所述Aurivillius相化合物陶瓷薄膜前驱体溶液为Bi4-xLnxTi3O12陶瓷薄膜前驱体溶液，所述Bi4-xLnxTi3O12陶瓷薄膜前驱体溶液中的Ln为镧系元素的一种，所述镧系元素Ln为Nb，x为0.85，所述镧系元素Ln为La，x为0.75；所述叠层结构介电储能电容器的制备方法，包括以下步骤：S1.制备SrTiO3或者Bi0.5Na0.5TiO3陶瓷薄膜前驱体溶液：按照化学计量比，以乙酸锶和钛酸四丁酯为原料，丙酸为溶剂，乙醇胺为粘度调节剂进行配制；在制备Bi0.5Na0.5TiO3陶瓷薄膜前驱体溶液时，将乙酸锶替换为乙酸钠和乙酸铋；S2.制备Bi4-xLnxTi3O12陶瓷薄膜前驱体溶液：按照化学计量比，以乙酸铋、镧系乙酸盐、钛酸四丁酯为原料，丙酸为溶剂，乙醇胺为粘度调节剂进行配制；S3.制备插入层和铁电层：将步骤S1制备的SrTiO3陶瓷薄膜前驱体溶液或者Bi0.5Na0.5TiO3陶瓷薄膜前驱体溶液和步骤S2制备的Bi4-xLnxTi3O12陶瓷薄膜前驱体溶液分别旋涂于镀铂硅片上，然后进行热解和循环旋涂后进行退火处理得到插入层和铁电层；S4.制备叠层结构介电储能电容器：将金属电极沉积到插入层和铁电层上，制备得到顶电极，即得到叠层结构介储能电容器；在步骤S2中，按照化学计量比，所述乙酸铋或者所述乙酸钠和乙酸铋过量2-8％mol，所述丙酸与乙醇胺的体积之比为9-39：1；在步骤S3中，所述循环旋涂的次数为等于或大于2次；在步骤S3中，在旋涂之前对镀铂硅片进行擦拭，并且旋涂时的转速为3000-8000转分钟，旋涂时间为10-40s。

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