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申请/专利权人：江苏元夫半导体科技有限公司
摘要：本申请公开了一种接水盘组件及化学机械抛光设备，该接水盘组件包括：接水盘，接水盘设有至少两个，各接水盘与机架组件可拆连接，相邻两个接水盘的投影部分重叠或相拼接；至少一个接水盘为第一接水盘，第一接水盘具有两个第一连接边，两个第一连接边与机架组件可拆连接且相拼接，以供被加工件由第一接水盘的正上方转移至机架组件所在的一侧；第一接水盘包括两个接水盘部分，两个第一连接边分别位于两个接水盘部分；两个第一连接边均通过第一铰链与机架组件可拆连接且相拼接，以供两个接水盘部分绕铰接轴线翻转，并使翻转后的两个接水盘部分之间形成通行通道。本申请有利于避免接水盘占用维护空间，进而有利于方便进行维护。
主权项：1.一种接水盘组件，其特征在于，包括：接水盘，所述接水盘设置有至少两个，各所述接水盘之间相互独立设置，且各所述接水盘均用于与设备的机架组件可拆连接；各所述接水盘用于沿被加工件的转移路径依次布置，以收集从所述被加工件和或被加工件传输装置上滴落的液体，各所述接水盘中的任意相邻两个所述接水盘沿上下方向投影于水平面上的投影部分重叠或相拼接；相邻两个所述接水盘供所述被加工件沿第一方向由一个所述接水盘的正上方转移至另一个所述接水盘的正上方；至少一个所述接水盘为第一接水盘，所述第一接水盘具有两个沿不同于所述第一方向的第二方向相对布置的第一连接边，两个所述第一连接边均用于与所述机架组件可拆连接且相拼接，以供所述被加工件沿所述第二方向由所述第一接水盘的正上方转移至所述机架组件所在的一侧；所述第一接水盘包括两个相拼且相互独立设置的接水盘部分，两个所述接水盘部分沿所述第二方向布置，两个所述第一连接边分别位于两个所述接水盘部分；两个所述第一连接边均通过第一铰链与所述机架组件可拆连接且相拼接，以供两个所述接水盘部分绕对应的所述第一铰链的铰接轴线向上或向下翻转，并使翻转后的两个所述接水盘部分之间形成通行通道；至少一个所述接水盘为与所述第一接水盘相邻布置的第二接水盘，所述第一接水盘位于所述第二接水盘的上方，且所述第一接水盘和所述第二接水盘沿上下方向投影于所述水平面上的所述投影部分重叠。
全文数据：
权利要求：
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