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申请/专利权人：成川科技(苏州)有限公司
摘要：本实用新型涉及一种晶圆搬运洁净回廊，连通两个不同洁净度的洁净室，包括第一单侧风机组件，用于实现洁净风的单侧吹扫，第一单侧风机组件底部设有第一底部出风口；第二单侧风机组件，与第一单侧风机组件形成相互对吹，第二单侧风机组件底部设有第二底部出风口；底部风机组件，用于实现洁净风的底部吹扫；底部风机组件的两侧分别设有进风口，上述两个进风口分别与第一底部出风口和第二底部出风口连通；风向调节组件，用于出风方向进行调节；本实用新型能够将吹扫全面且效果可靠，可以对冲阻断一侧空气进入对面一侧，吹扫全面且效果可靠，可有效防止低洁净度区域的空气进入高洁净度区域，造成高洁净度区域空气污染。
主权项：1.一种晶圆搬运洁净回廊，连通两个不同等级洁净度的洁净室，其特征在于：该晶圆搬运洁净回廊包括：第一单侧风机组件，用于向所述回廊内输送洁净风；所述第一单侧风机组件底部设有第一出风口；第二单侧风机组件，与所述第一单侧风机组件分别设置于所述回廊延伸方向的相对两侧正对设置，用于向所述回廊内输送洁净风，并与所述第一单侧风机组件形成相互对吹，所述第二单侧风机组件底部设有第二出风口；底部风机组件，设置在所述第一单侧风机组件和第二单侧风机组件之间，用于自所述回廊的底部向其内输送洁净风；所述底部风机组件的两侧分别设有进风口，两个所述进风口分别与第一出风口和第二出风口连通将第一单侧风机组件、第二单侧风机组件内的洁净风引入底部风机组件；其中，所述第一单侧风机组件、所述第二单侧风机组件和所述底部风机组件均包含有风向调节组件，所述风向调节组件包括密封板和风口喷嘴，所述密封板上阵列排布有若干孔槽，每一个所述孔槽内均设置一个所述风口喷嘴，且所述风口喷嘴能够在孔槽内转动以调节出风方向。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成川科技(苏州)有限公司 一种晶圆搬运洁净回廊
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