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申请/专利权人：宁夏晶体新能源材料有限公司
摘要：本申请公开了一种多晶硅尾气回收生产工艺系统，旋风分离器和硅粉过滤器依次去除还原尾气中的无定形硅，低压凝液加热器、第一尾气热交换器、尾气空冷器、第二尾气热交换器、尾气水冷器、第四尾气热交换器、尾气深冷器分别对还原尾气进行逐级冷凝，低压氯硅烷凝冷凝液罐收集氯硅烷凝液，氯硅烷加压泵将氯硅烷凝液发送至氯硅烷热交换器中进行换热，氯硅烷深冷器将换热后的氯硅烷凝液进一步深冷后作为吸收剂发送至氯化氢吸收塔。通过加入旋风分离器来去除部分无定形硅，降低硅粉过滤器反吹频次从而减少反吹压缩气体深冷，降低低压冷凝系统制冷设备的能耗，提高压缩机利用率，取消氯化氢解析塔来减少氯化氢分离阶段尾气回收设备的投入。
主权项：1.一种多晶硅尾气回收生产工艺系统，其特征在于，所述系统包括依次相连的旋风分离器、硅粉过滤器、低压凝液加热器、第一尾气热交换器、尾气空冷器、第二尾气热交换器、尾气水冷器、第四尾气热交换器、尾气深冷器；低压氯硅烷冷凝液罐、氯硅烷加压泵、氯硅烷热交换器、氯硅烷深冷器、氯化氢吸收塔；旋风分离器用于去除还原尾气中的部分无定形硅；硅粉过滤器用于进一步去除还原尾气中的无定形硅；低压凝液加热器、第一尾气热交换器、尾气空冷器、第二尾气热交换器、尾气水冷器、第四尾气热交换器、尾气深冷器分别用于对去除无定形硅的还原尾气进行逐级冷凝；低压氯硅烷冷凝液罐用于收集氯硅烷凝液；氯硅烷加压泵用于将氯硅烷凝液发送至氯硅烷热交换器中进行换热；氯硅烷深冷器用于将氯硅烷热交换器换热后的氯硅烷凝液进一步深冷后作为吸收剂发送至氯化氢吸收塔；尾气深冷器还用于将未经深冷的气相发送至第二尾气热交换器进行换热。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁夏晶体新能源材料有限公司 一种多晶硅尾气回收生产工艺系统
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