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申请/专利权人：成都考拉悠然科技有限公司
摘要：本发明公开了一种晶圆检测相机的六轴微调装置，包括中部设置有检测空腔的底板、中心板、基准板和浮动板；所述底板与中心板的X方向的两侧以及中心板与基准板的Y方向的两侧分别通过转轴转动连接，所述底板与中心板之间沿X方向安装有偏航调节机构，且中心板与基准板之间沿Y方向安装有俯仰调节机构；所述基准板的内部设置有浮动板，所述基准板与浮动板之间沿X方向、Y方向的一侧分别安装有X轴调节机构、Y轴调节机构，所述浮动板沿X方向、Y方向的另一侧分别与基准板柔性连接；所述基准板的顶部设置有盖板，所述盖板通过锁紧螺钉与浮动板连接，所述浮动板的顶部穿过盖板并与Z轴调节机构连接，所述Z轴调节机构的顶部设置有角度调节机构。本实用新型的结构紧凑，体积小，节省了整体的空间，减少了零件成本，能够对相机的六个自由度进行调整，从而提高了工业相机的检测精度和效率，具有较好的实用性。
主权项：1.一种晶圆检测相机的六轴微调装置，其特征在于，包括从下至上依次设置的且中部设置有检测空腔的底板18、中心板19、基准板8和浮动板21；所述底板18与中心板19的X方向的两侧以及中心板19与基准板8的Y方向的两侧分别通过转轴转动连接，所述底板18与中心板19之间沿X方向安装有偏航调节机构，且中心板19与基准板8之间沿Y方向安装有俯仰调节机构；所述基准板8的内部设置有浮动板21，所述基准板8与浮动板21之间沿X方向、Y方向的一侧分别安装有X轴调节机构、Y轴调节机构，所述浮动板21沿X方向、Y方向的另一侧分别与基准板8柔性连接；所述基准板8的顶部设置有盖板25，所述盖板25通过锁紧螺钉与浮动板21连接，所述浮动板21的顶部穿过盖板25并与Z轴调节机构连接，所述Z轴调节机构的顶部设置有角度调节机构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都考拉悠然科技有限公司 一种晶圆检测相机的六轴微调装置
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