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申请/专利权人：赛光半导体科技(苏州)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种光刻机用多尺寸晶圆载片台，涉及晶圆加工部件技术领域，包括载片台，所述载片台前后位的两端均贯穿开凿有竖气槽，所述载片台左右位的两端均贯穿开凿有横气槽，所述载片台位于竖气槽之间的端部贯穿开凿有气源槽，所述载片台上下位的四角均贯穿开凿有纵向槽，所述载片台位于纵向槽位置的底部粘接有背封板，真空发生器的通过管道、气嘴接头而在气源槽内产生负压气体，负压气体通过横气槽、竖气槽、纵向槽后，会由纵向槽的顶部产生负压吸力，从而将放置在载片台上的晶圆进行吸附，四个纵向槽则能够对不同的晶圆进行稳定吸附。
主权项：1.一种光刻机用多尺寸晶圆载片台，包括载片台1，其特征在于：所述载片台1前后位的两端均贯穿开凿有竖气槽2，所述载片台1左右位的两端均贯穿开凿有横气槽4，所述载片台1位于竖气槽2之间的端部贯穿开凿有气源槽3，所述载片台1上下位的四角均贯穿开凿有纵向槽5，所述载片台1位于纵向槽5位置的底部粘接有背封板6，所述气源槽3前端的位置安装有气嘴接头7，所述气源槽3远离气嘴接头7的一端以及竖气槽2、气源槽3、横气槽4的两端的端部均螺纹连接有螺丝8，所述载片台1位于四个纵向槽5外侧的顶部开凿有若干圈槽12，所述载片台1位于三个圈槽12之间的两端均开凿有限位槽11，所述圈槽12的内部均插设有尺寸相匹配的放置圈13，所述放置圈13位于限位槽11位置的底部两端均固定有螺杆10，所述螺杆10的外壁均螺纹连接有螺帽9。
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权利要求：
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