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申请/专利权人：廊坊市莱格光电仪器有限公司

摘要：本申请提供一种激光直刻金属柱面光栅光刻机，包括回转系统和第二光栅读数头；回转系统顶端由下至上依次设多码道基准圆光栅及柱面光栅基体，回转系统驱动多码道基准圆光栅及柱面光栅基体旋转；激光光刻系统对柱面光栅基体光刻；控制计算系统用于接收多码道基准圆光栅发出的光刻触发基准信号、检测基准信号，第二光栅读数头发送的被测检测信号，向激光光刻系统发送光刻控制信号，通过检测基准信号与被测检测信号进行对比计算得到光刻精度的检测结果。本申请的有益效果是：通过回转系统驱动多码道基准圆光栅及柱面光栅基体同步旋转，多码道基准圆光栅可发出光刻触发基准信号及检测基准信号，光刻机连续对柱面光栅基体光刻的功能外还具有检测功能。

主权项：1.一种激光直刻金属柱面光栅光刻机，其特征在于，包括基座、回转系统、基准测控圆光栅系统、激光光刻系统及控制计算系统；所述回转系统设置在所述基座上；所述基准测控圆光栅系统包括多码道基准圆光栅及设置在其上方的第一读数模块；所述多码道基准圆光栅设置在回转系统的顶端，多码道基准圆光栅的上方连接有柱面光栅基体，所述回转系统驱动多码道基准圆光栅及柱面光栅基体同步旋转；所述激光光刻系统对应所述柱面光栅基体设置，用于对柱面光栅基体进行激光光刻；所述多码道基准圆光栅包括四个用于拾取信号的线纹码道；所述第一读数模块包括若干第一光栅读数头，对应每个线纹码道设置第一数量的第一光栅读数头，每个线纹码道上的各个第一光栅读数头周向均匀间隔分布；所述光刻机还包括设置在基座上对应柱面光栅基体的第二光栅读数头；所述激光光刻系统、基准测控圆光栅系统及第二光栅读数头分别与所述控制计算系统信号连接；所述多码道基准圆光栅用于发射光刻触发基准信号及检测基准信号，所述第一读数模块用于读取光刻触发基准信号及检测基准信号并将其发送至控制计算系统；所述第二光栅读数头用于读取柱面光栅基体被光刻出线纹的被测检测信号并将其发送至控制计算系统；所述控制计算系统用于接收光刻触发基准信号并根据光刻触发基准信号向激光光刻系统发送同步光刻控制信号，所述控制计算系统还用于根据接收的所述检测基准信号及被测检测信号，将二者进行比较计算，得到光刻机光刻精度的检测结果。

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权利要求：

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