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申请/专利权人：湖南联合半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于化学气相沉积设备的捕集装置，其包括依次连通的进气管1、进气管路2、捕集罐体3、出气管路4和出气管5；其中，所述进气管路2、捕集罐体3和出气管路4并联设置有两套；所述进气管路2、出气管路4上均设置有截止阀7；所述捕集罐体3的直径大于所述进气管路2的直径，且所述捕集罐体3内部设置有扰流捕集机构。本实用新型通过节流与扰流的方式达到快捷高效的捕集效果，同时实现不停机的热切换操作，有效提高生产效率，延长真空泵的使用寿命，降低生产成本。
主权项：1.一种用于化学气相沉积设备的捕集装置，其特征在于，包括依次连通的进气管1、进气管路2、捕集罐体3、出气管路4和出气管5；其中，所述进气管路2、捕集罐体3和出气管路4并联设置有两套；所述进气管路2、出气管路4上均设置有截止阀7；所述捕集罐体3的直径大于所述进气管路2的直径，且所述捕集罐体3内部设置有扰流捕集机构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南联合半导体科技有限公司 一种用于化学气相沉积设备的捕集装置
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