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申请/专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司

摘要：本发明揭示了减薄方法、分度台补偿参数确定方法、系统及减薄机，其中减薄方法通过对样片进行磨削以获取每个承片台上的工件研磨后不会存在中心斑问题时对应的分度台补偿转角，从而在后续实际研磨时，在每个分度台需要转动到第二研磨机构处时，通过每个承片台对应的分度台补偿转角对分度台的转动进行控制，能够有效地保证分度台转动的角度满足每个承片台上的晶圆经过第二研磨机构减薄后不会出现中心斑，有效保证了减薄质量，同时每个承片台对应的分度台补偿转角可以自动获取，不需要人工调试，易于实现。

主权项：1.减薄方法，其特征在于，包括如下步骤：当一承片台上的晶圆在第一研磨机构处完成减薄后需要转动到第二研磨机构处进行减薄时，控制分度台转动预定角度，所述预定角度根据所述承片台对应的分度台补偿转角和补偿转向确定；每个所述承片台对应的分度台补偿转角和补偿转向根据如下过程确定：S01,在确定处于上下料位置的所述承片台上同心放置一样片后，根据固定转角使样片依次转动到第一研磨机构和第二研磨机构处进行减薄；S02,在减薄后，控制所述分度台根据所述固定转角转动以使所述承片台转动至上下料位置；S03,通过图像识别确定所述承片台上的样片的顶部是否有中心斑，如没有，执行S04,如有，执行S05；S04,确定所述承片台对应的分度台补偿转角为0°；S05,根据所述中心斑的尺寸参数确定当前补偿角度及确定出补偿转向后执行S06；S06,将所述承片台上减薄后的样片卸料后，再次在所述承片台上同心放置一样片并根据所述固定转角使样片转动到第一研磨机构处进行减薄，在第一研磨机构处完成减薄后，根据所述固定转角及上一次图像识别确定的所述当前补偿角度和补偿转向控制所述分度台转动以使所述样片转动到所述第二研磨机构处进行减薄,减薄后，执行S07;S07,控制所述分度台转动以使所述承片台转动至上下料位置，再次通过图像识别确定所述承片台上的样片的顶部是否有中心斑，在确定不存在中心斑时，执行S8，在确定存在中心斑时，执行S9；S08,确定所述承片台对应的分度台补偿转角和补偿转向为上一次图像识别确定的所述当前补偿角度和补偿转向；S09，根据本次图像识别确定的所述中心斑的尺寸参数确定当前补偿角度和补偿转向并执行S06。

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