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申请/专利权人：燕山大学
摘要：本申请公开了一种光电三维加速度计，涉及传感器技术领域。不仅膜梁结构简单、加工成本更低，可以节省一套光学系统，而且无需进行软解耦即可得到三个加速度值，还提高了膜梁结合处的连接可靠性，同时具有光学结构体积较小、成本较低的优点。该三维加速度计包括三维角加速度惯性摆、激光光源、光纤分束器、光路调制组件、定向反射与衍射分光系统、马赫泽德干涉系统和光电处理系统；定向反射与衍射分光系统连接在三维角加速度惯性摆的下端中心处；光路调制组件和马赫泽德干涉系统位于定向反射与光电处理系统的下方；激光光源和光电处理系统分别位于马赫泽德干涉系统的两侧。本申请用于提升三维加速度计的性能。
主权项：1.一种光电三维加速度计，其特征在于，包括三维角加速度惯性摆、激光光源、光纤分束器、光路调制组件、定向反射与衍射分光系统、马赫泽德干涉系统和光电处理系统；定向反射与衍射分光系统连接在三维角加速度惯性摆的下端中心处；定向反射与衍射分光系统包括光栅区域和位于光栅区域外周的非光栅区域；激光光源发射的激光脉冲信号经光纤分束器后分为两路，包含三维角加速度的水平向分量信息的第一路脉冲信号经光路调制组件折射后穿过光栅区域，再经立方角锥反射棱镜的全反射后，出射光折转并再次穿过光栅区域并被再次分光出两束相干光；包含三维角加速度的铅直向分量信息的第二路脉冲信号在经由分束镜后分为半反射光路脉冲信号和半透射光路脉冲信号，半反射光路脉冲信号穿过定向反射与衍射分光系统的非光栅区域再经立方角锥反射棱镜的全反射后，出射光进入马赫泽德干涉系统中；半透射光路脉冲信号进入马赫泽德干涉系统中并与半反射光路脉冲信号发生干涉；当三维角加速度惯性摆发生转动时，光电处理系统能够探测到两组干涉条纹的移动，并将其转换为三个加速度值输出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 燕山大学 一种光电三维加速度计
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