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申请/专利权人：武汉衡惯科技发展有限公司
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，提供了一种闭环加速度传感器，包括依次层叠设置的基底、器件层和上盖板，所述器件层包括质量块以及设于所述质量块上的至少一个检测单元和至少一个驱动反馈单元，所述检测单元用于检测质量块在XY轴方向上的电容变化量，所述驱动反馈单元用于根据所述检测单元反馈的电容变化量控制所述质量块在XY轴方向的位移。还提供本了一种闭环加速度传感器的制作方法。本发明采用检测单元检测质量块在XY轴方向上的电容变化量，然后采用驱动反馈单元根据检测单元反馈的电容变化量即可控制质量块在XY轴方向的位移，从而实现闭环控制，避免加速度计器件损坏。
主权项：1.一种闭环加速度传感器，包括依次层叠设置的基底、器件层和上盖板，其特征在于：所述器件层包括质量块以及设于所述质量块上的至少一个检测单元和至少一个驱动反馈单元，所述检测单元用于检测质量块在XY轴方向上的电容变化量，所述驱动反馈单元用于根据所述检测单元反馈的电容变化量控制所述质量块在XY轴方向的位移。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉衡惯科技发展有限公司 闭环加速度传感器及其制备方法
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