龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
摘要：本发明提供了一种金刚石表面抛光损伤层的去除方法，属于金刚石技术领域，包括步骤依次为：对金刚石表面进行精抛光处理；将抛光后的金刚石使用电感耦合等离子体刻蚀机进行处理，其中使用的刻蚀气体为Cl2与Ar的混合气体；将处理后的金刚石送入MPCVD设备的腔体内部，利用氢等离子体进行刻蚀；使用显微镜观察金刚石表面形貌，分析金刚石表面缺陷情况。本发明提供的金刚石表面抛光损伤层的去除方法，解决了金刚石表面抛光损伤层不易去除，导致其物理特性下降，限制了金刚石器件性能的提升的技术问题，能够有效去除金刚石抛光工艺引入的表面应力损伤，最后提高金刚石表面层的晶体质量，从而进一步为金刚石器件提供高质量衬底材料。
主权项：1.金刚石表面抛光损伤层的去除方法，其特征在于，包括以下步骤：对金刚石表面进行精抛光处理；将抛光后的金刚石使用电感耦合等离子体刻蚀机进行处理，其中使用的刻蚀气体为Cl2与Ar的混合气体；将处理后的金刚石送入MPCVD设备的腔体内部，利用氢等离子体进行刻蚀；使用显微镜观察金刚石表面形貌，分析金刚石表面缺陷情况。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第十三研究所 金刚石表面抛光损伤层的去除方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号