龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江苏容道社半导体设备科技有限公司
摘要：本发明公开了一种解决晶圆双面涂胶的卡盘，涉及晶圆卡盘技术领域，包括衔接板和内置槽，所述衔接板的顶部设置有衔接臂，且衔接臂的内侧设置有衔接卡盘，所述衔接卡盘的内侧底部安装有触摸限位板，且触摸限位板的外表面设置有真空吸盘，所述衔接臂安装有两组，两组所述衔接臂之间设置有晶圆主体，两组所述衔接臂的一侧安装有衔接盘全，且衔接盘的中部设置有卡盘筒。该解决晶圆双面涂胶的卡盘，能够在真空泵运作时控制触摸限位板表面的真空吸盘对晶圆主体吸附固定，晶圆主体固定时是通过三组等距设置有的控制触摸限位板表面的真空吸盘局部吸附固定，吸附式只对晶圆主体3mm范围部分进行吸附，晶圆主体中间部分没有任何损伤，也不影响良品率。
主权项：1.一种解决晶圆双面涂胶的卡盘，包括衔接板1和内置槽2，其特征在于：所述衔接板1的顶部设置有衔接臂4，且衔接臂4的内侧设置有衔接卡盘6，所述衔接卡盘6的内侧底部安装有触摸限位板10，且触摸限位板10的外表面设置有真空吸盘，所述衔接臂4安装有两组，两组所述衔接臂4之间设置有晶圆主体5，两组所述衔接臂4的一侧安装有衔接盘9全，且衔接盘9的中部设置有卡盘筒8，所述内置槽2开设于衔接板1底部内部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏容道社半导体设备科技有限公司 一种解决晶圆双面涂胶的卡盘
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号