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申请/专利权人：合肥工业大学
摘要：本发明公开了一种大相对口径非球面镜补偿检测光学系统及设计方法，该方法在场镜背离待检非球面的一侧添加一块密接且镀有半透半反膜的球面透镜形成折反镜，折反镜在光路中用作自准校正镜起到自准和校正光线的作用，大大提升了补偿器的像差校正能力，很好的减少了由于增加多块透镜所导致在装调过程中带来的倾斜、偏心等误差的影响，大大的减小了系统在实际装调过程中的难度，装配简单，稳定性高，容易实施，能够直接通过干涉检测仪器获得待检凹非球面的面形误差。通过多次利用已有补偿镜组的方式对大相对口径凹非球面镜进行补偿检测，通过合理的设定参数，大大的提升了系统的像差补偿能力，检验精度更高，适用性及实用性更好。
主权项：1.一种大相对口径非球面镜补偿检测光学系统，其特征在于，包括由补偿镜1、自准校正镜2和场镜3共同组合成的补偿器以及待检凹非球面镜4；所述补偿镜1、自准校正镜2、场镜3、待检凹非球面镜4依次安装固定，且所述自准校正镜2与场镜3紧密接触并形成组合透镜使用，并建立起大相对口径非球面自准补偿检测方法的光路结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥工业大学 一种大相对口径非球面镜补偿检测光学系统及设计方法
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