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申请/专利权人：东北大学
摘要：本发明提供一种微米级磁悬浮轴承位移传感检测系统及方法，涉及磁悬浮轴承技术领域。该系统通过电涡流传感器驱动及检测系统驱动电涡流传感器，检测被测转子的位移信号；通过电涡流传感器信号调理系统将检测的转子位移信号处理后输入DSP处理器；该方法采集当前时刻磁悬浮轴承转子的位移数据，确定磁悬浮轴承中的开关功率放大器输出的纹波电流与转子位移间的关系；建立磁悬浮轴承自传感位移估计算法估计转子位移数据，并与采集的转子位移数据进行融合，得到融合校正后的转子位移数据；采用Smith延时补偿算法补偿自传感位移估计算法带来的延时；采用积分滑膜变结构控制算法抵抗磁悬浮轴承位移控制系统参数摄动与外界干扰。
主权项：1.一种微米级磁悬浮轴承位移传感检测系统，其特征在于：包括DSP处理器、电涡流传感器驱动及检测系统和电涡流传感器信号调理系统；所述电涡流传感器驱动及检测系统用于驱动电涡流传感器，并检测被测转子的位移信号；所述电涡流传感器信号调理系统将电涡流传感器驱动及检测系统检测的转子位移信号处理后输入DSP处理器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东北大学 一种微米级磁悬浮轴承位移传感检测系统及方法
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