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申请/专利权人：深圳市博能自动化设备有限公司
摘要：本发明涉及真空镀膜磁控溅射非平衡式平面阴极的技术领域，尤其是涉及一种磁场发生装置及非平衡式平面阴极。本发明提供的磁场发生装置包括：磁靴底板、隔块、第一磁极、第二磁极和调磁组件；隔块、第一磁极和第二磁极均设置于磁靴底板上，隔块位于第一磁极与第二磁极之间；第一磁极与第二磁极的极性相反，且第一磁极的磁场强度与第二磁极的磁场强度不同；调磁组件用于调节靶面水平方向磁场强度，且调磁组件设置于隔块与第一磁极之间，和或，调磁组件设置于隔块与第二磁极之间，能够使靶面水平方向磁场强度的最值减小，使磁场强度波动较为平缓，提高了镀膜均匀性以及靶材的利用率，进而提高镀膜质量。
主权项：1.一种磁场发生装置，用于非平衡式平面阴极，所述非平衡式平面阴极具有靶面，其特征在于，所述磁场发生装置6包括：磁靴底板14、隔块11、第一磁极、第二磁极和调磁组件；所述磁靴底板14具有相对的第一侧和第二侧，所述隔块11、所述第一磁极和所述第二磁极均设置于所述磁靴底板14上，且均位于所述第一侧，所述隔块11位于所述第一磁极与所述第二磁极之间；所述第一磁极与所述第二磁极的极性相反，且所述第一磁极的磁场强度与所述第二磁极的磁场强度不同；所述调磁组件用于调节靶面水平方向磁场强度，且所述调磁组件设置于所述隔块11与所述第一磁极之间，和或，所述调磁组件设置于所述隔块11与所述第二磁极之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市博能自动化设备有限公司 一种磁场发生装置及非平衡式平面阴极
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