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申请/专利权人：浙江大学
摘要：本发明公开了一种基于SU8三维锥形结构的高效紧凑型端面耦合器及方法。该端面耦合器包括三维锥形SU8波导和锥形硅波导。该三维锥形SU8可利用一次曝光直接制备，结合优化锥形波导轮廓的设计可提升耦合效率，压缩耦合长度。进入耦合器的光先通过三维锥形SU8压缩模斑，再通过绝热耦合进入锥形硅波导，即可与片上器件直接对接。本发明通过三维SU8锥形结构减小尺寸和提升耦合效率，并且制作方法简单，只需曝光显影，无需刻蚀工艺。同时，由于三维锥形SU8结构形状可通过曝光剂量灵活调控，方便与模斑形状不同的光源之间实现高效耦合。总之，本发明的端面耦合器集成度高，适用性广，便于芯片‑光纤或芯片间高效互联，有望推动光电集成产业的进步。
主权项：1.一种基于SU8三维锥形结构的高效端面耦合器，其特征在于，所述端面耦合器包括三维锥形SU8波导1、埋氧层2、衬底3和锥形硅波导4，埋氧层2和衬底3上下层叠布置，埋氧层2上布设有三维锥形SU8波导1和锥形硅波导4，三维锥形SU8波导1和锥形硅波导4同轴布置，锥形硅波导4的较小端部埋设于三维锥形SU8波导1的较小端部内，三维锥形SU8波导1的较大端部作为输入端，锥形硅波导4的较大端部作为输出端。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 基于SU8三维锥形结构的高效紧凑型端面耦合器及方法
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