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申请/专利权人：河北金石信远新材料科技有限公司

摘要：本发明公开了一种用于LOW‑E玻璃的磁控溅射镀膜装置，包括真空箱体、支撑架及两个竖直移动机构，玻璃件固定架的两端分别设置于第一升降板以及第二升降板相邻近的侧壁上，第一升降板的一侧设有翻转机构，两个水平导轨设置于真空箱体上部开设的安装腔的侧壁上，水平导轨内设置有水平滑块，磁控溅射镀膜机构设置于水平导轨的底侧，水平滑块上设置有角度调节机构，在对被镀玻璃进行镀膜处理时，该装置可通过红外传感器实时监测获取被镀玻璃的曲率信息及其与磁控溅射镀膜机构之间的距离信息，控制系统可以根据曲率信息驱动角度调整机构以及升降件运作，使得磁控溅射镀膜机构在移动过程中与被镀玻璃之间保持垂直且等距的状态，从而提高镀膜的均匀性。

主权项：1.一种用于LOW-E玻璃的磁控溅射镀膜装置，其特征在于，包括：真空箱体1以及设于真空箱体1内的支撑架2，所述支撑架2上设有两个竖直移动机构3，两个竖直移动机构3分别用于驱动第一升降板4以及第二升降板5进行同步升降；玻璃件固定架7，玻璃件固定架7的两端分别设置于第一升降板4以及第二升降板5相邻近的侧壁上，第一升降板4的一侧设有用于驱动被镀件固定件进行翻转的翻转机构6，玻璃件固定架7的相对两侧分别对应设置有若干个对被镀玻璃的边缘进行夹持的夹持件9，且玻璃件固定架7的相对两侧设置有若干个分别用于驱动对应夹持件9进行升降的升降件8；两个水平导轨10，相对设置于真空箱体1上部开设的安装腔的侧壁上；磁控溅射镀膜机构11，设置于两个水平导轨10的底侧，两个水平滑块101上设置有用于对磁控溅射镀膜机构11的角度进行调节的角度调节机构12；其中，所述角度调节机构12包括两个安装板121以及两个第一电机122，两个所述安装板121相互远离的一侧分别固定连接于两个所述水平滑块101上，两个所述安装板121的相对一侧均固定安装有第一电机122，两个所述第一电机122的输出端分别活动贯穿两个安装板121并与两个连接板123的一侧固定连接，两个连接板123的上端分别与磁控溅射镀膜机构11两端的底侧固定连接；两个红外传感器127，分别设置于两个连接板123的底部并用于对被镀玻璃的表面及距离进行监测；放置基板13，放置基板13固定连接于玻璃件固定架7的底侧，所述放置基板13上设有多个伸缩件14，被镀玻璃可置于伸缩件14上。

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