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申请/专利权人：桂林百锐光电技术有限公司

摘要：本发明公开了一种周期极化铁电晶体的畴壁调直方法，本发明通过测试极化后样品的压电系数，能够无损判断样品的极化情况，并能够筛选出极化均匀的区域，同时能根据占空比计算结果，判断是否继续进行极化或者终止极化、单畴化后重新极化；通过压电系数变化量，判断畴壁的平直程度，及时调整极化电压大小与时长，精确地控制极化过程，获得高质量的周期极化晶体。

主权项：1.一种周期极化铁电晶体的畴壁调直方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，采用准静态测试法，将待极化的样品负极性面朝上，其压电系数为ds，此时，ds＞0，然后对样品进行周期极化；将极化后样品的一面置于绝缘板上，测试其压电系数dc，然后将样品反向放置在绝缘板上，测试其压电系数dr；当dc和dr的绝对值均大于ds2时，继续对样品进行极化；当测试的压电系数绝对值小于ds2时，若dc与dr绝对值相差小于20％，则判断极化反转畴贯穿了整个晶体，得到畴贯穿晶体，备用；若dc与dr绝对值相差大于20％，则判断反转畴未贯穿整个晶体，停止极化，对样品进行单畴化，并重新进行周期极化；步骤2，采用准静态测试法，对步骤1中的畴贯穿晶体按原始负极性方向朝上放置，不放置在绝缘板上，测试其压电系数为dp；步骤3，由公式D＝dp+ds2ds计算得到测试区域的占空比，若dp＞0，则反转畴的占空比为1-D，表明反转畴区域面积小于未反转畴区域的面积；若dp＜0，则反转畴的占空比即为D，表明反转畴区域面积大于未反转畴区域的面积；步骤4，在极化后的样品上选取多点进行压电系数测试，根据步骤3统计出极化样品不同区域的占空比分布情况；步骤5，由步骤3得到的结果，如果占空比D较设计的占空比大于20％，则对样品进行单畴化，重新进行周期极化；如果占空比D较设计的占空比大于0而小于20％，则继续对样品进行极化，并结合压电系数dp变化量Δdp调整极化电压大小；步骤6，对同一坐标轴上的等间距区域进行测试，若任意一个区域2％ds≥Δdp≥0.5％ds，则表示反转横向生长速度在合理范围，表明畴壁趋于平直，根据步骤5判断是否继续进行极化，最终使得占空比D与设计的占空比达到±0.5％的误差范围；若任意一个区域Δdp＞2％ds，则降低电压，极化完成后取出样品进行压电系数测试，重复上述计算判断是否继续进行极化，直至占空比达到50％；若任意一个区域Δdp＜0.5％ds，则升高电压；极化完成后取出样品进行压电系数测试，重复上述计算判断是否继续进行极化，直至占空比达到50％。

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