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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
摘要：本申请公开了一种基于时变分数阶涡旋解调的暗场共焦显微测量装置及方法，涉及共焦显微测量技术领域，该装置包括时变调制照明模块、光学扫描模块、信号采集解调模块、函数发生器和样品台，函数发生器分别与时变调制照明模块和信号采集解调模块连接，分别为时变调制照明模块和信号采集解调模块提供参考信号；样品台用于放置待测样品；时变调制照明模块用于向光学扫描模块发射分数阶涡旋光；光学扫描模块用于将分数阶涡旋光传递到样品台中的待测样品上，将回光信号传递至信号采集解调模块；信号采集解调模块用于采集回光信号，并根据参考信号对回光信号进行暗场共焦探测，得到待测样品的测量信息，本申请可提高测量装置的灵敏度和准确性。
主权项：1.一种基于时变分数阶涡旋解调的暗场共焦显微测量装置，其特征在于，所述基于时变分数阶涡旋解调的暗场共焦显微测量装置包括时变调制照明模块、光学扫描模块、信号采集解调模块、函数发生器和样品台，所述函数发生器分别与所述时变调制照明模块和所述信号采集解调模块连接；所述函数发生器用于分别为所述时变调制照明模块和所述信号采集解调模块提供参考信号；所述样品台用于放置待测样品；所述时变调制照明模块用于向所述光学扫描模块发射分数阶涡旋光；所述光学扫描模块用于将所述分数阶涡旋光传递到所述样品台中的所述待测样品上，以及，当所述分数阶涡旋光在所述待测样品上反射出回光信号后，将所述回光信号传递至所述信号采集解调模块；所述信号采集解调模块用于采集所述回光信号，并根据所述参考信号对所述回光信号进行暗场共焦探测，得到所述待测样品的测量信息，所述测量信息为基于暗场共焦探测得到的所述待测样品有无缺陷的测量结果。
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权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学 基于时变分数阶涡旋解调的暗场共焦显微测量装置及方法
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