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一种激光球差校正方法及装置 

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申请/专利权人:季华实验室

摘要:本发明公开了一种激光球差校正方法及装置,涉及光学技术领域。激光球差校正方法应用于光学组件,所述光学组件包括相对平行设置的第一衍射元件以及第二衍射元件;所述激光球差校正方法包括:获取所述第一衍射元件的第一转动角度以及所述第二衍射元件的第二转动角度;根据所述第一转动角度以及所述第二转动角度计算转动角度差值;根据所述转动角度差值计算所述光学组件的总透过率;根据所述总透过率计算球差补偿系数,以对激光的球差进行校正。本发明技术方案仅需两片衍射光学元件即可实现球差的调节,激光球差校正方法结构简单,易于集成。能够实现大范围的连续球差校正或高精度球差校正。降低设备成本,提高设备的兼容性。

主权项:1.一种激光球差校正方法,其特征在于,所述激光球差校正方法应用于光学组件,所述光学组件包括相对平行设置的第一衍射元件以及第二衍射元件;所述激光球差校正方法包括:获取所述第一衍射元件的第一转动角度以及所述第二衍射元件的第二转动角度;根据所述第一转动角度以及所述第二转动角度计算转动角度差值;根据所述转动角度差值计算所述光学组件的总透过率;根据所述总透过率计算球差补偿系数,以对激光的球差进行校正。

全文数据:

权利要求:

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