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申请/专利权人：株式会社东京精密
摘要：本发明提供能够减少检测者的工夫且使被测定面的三维形状的测定精度简单地提高的三维形状测定装置以及三维形状测定方法。三维形状测定装置具备：干涉物镜，其包括从由光源部出射的测定光将测定光的一部分分割为参照光并生成从被测定面返回的测定光与从参照面返回的参照光的合波光的干涉部及将测定光聚光于被测定面的物镜；扫描部，其将干涉物镜相对于被测定面沿着与物镜的光轴平行的扫描方向相对地扫描；拍摄部，其在由扫描部进行的扫描的期间，反复拍摄由干涉部生成的合波光，而输出包含干涉条纹的多个拍摄图像；以及第一信号处理部，其运算从拍摄部输出的多个拍摄图像的每个像素的对焦度，并基于比较多个拍摄图像的每个同一坐标的像素的对焦度得到的结果，运算被测定面的三维形状。
主权项：1.一种三维形状测定装置，其利用对焦点法对被测定面的三维形状进行测定，其中，所述三维形状测定装置具备：光源部，其出射测定光；干涉物镜，其包括干涉部及物镜，所述干涉部从由所述光源部出射的所述测定光将所述测定光的一部分分割为参照光，将所述测定光向所述被测定面出射并且将所述参照光向参照面出射，而生成从所述被测定面返回的所述测定光与从所述参照面返回的所述参照光的合波光，所述物镜将所述测定光聚光于所述被测定面；扫描部，其将所述干涉物镜相对于所述被测定面沿着与所述物镜的光轴平行的扫描方向相对地扫描；拍摄部，其在由所述扫描部进行的扫描的期间，反复拍摄由所述干涉部生成的所述合波光，而输出包含干涉条纹的多个拍摄图像；以及第一信号处理部，其运算从所述拍摄部输出的多个所述拍摄图像的每个像素的对焦度，并基于比较多个所述拍摄图像的每个同一坐标的像素的所述对焦度得到的结果，运算所述被测定面的三维形状。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社东京精密 三维形状测定装置以及三维形状测定方法
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