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申请/专利权人：江苏鹏举半导体设备技术有限公司
摘要：本发明公开了一种半导体原子级工艺设备集中控制系统，用于批量性实验及安全教学，原子层沉积设备、原子层刻蚀设备分别包括多台ALD设备、多台ALE设备，两者均还包括：上位机组态软件，上位机组态软件分别通过以太网接口与每台ALD设备或ALE设备的PLC连接；上位机组态软件的操作主界面具有本地模式模块界面、兼容模式模块界面、远程模式模块界面；当操作主界面进入本地模式模块界面，上位机组态软件仅用于读取ALD设备或ALE设备数据；当操作主界面进入远程模式模块界面，每台ALD设备或ALE设备仅受上位机组态软件控制；当操作主界面进入兼容模式模块界面，每台ALD设备或ALE设备受上位机组态软件远程操作控制，或受每台ALD设备或ALE设备本地操作控制。
主权项：1.一种半导体原子级工艺设备集中控制系统，半导体原子级工艺分为原子层沉积工艺和原子层刻蚀工艺，所述原子层沉积工艺采用原子层沉积设备，所述原子层刻蚀工艺采用原子层刻蚀设备，原子层沉积设备、原子层刻蚀设备分别包括多台ALD设备、多台ALE设备，其特征在于：所述原子层沉积设备、原子层刻蚀设备均还包括：上位机组态软件，所述上位机组态软件分别通过以太网接口与每台ALD设备或ALE设备的PLC连接；所述上位机组态软件的操作主界面具有本地模式模块界面、兼容模式模块界面、远程模式模块界面；当操作主界面进入本地模式模块界面，所述上位机组态软件仅用于读取ALD设备或ALE设备数据；当操作主界面进入远程模式模块界面，每台所述ALD设备或ALE设备仅受所述上位机组态软件控制；当操作主界面进入兼容模式模块界面，每台所述ALD设备或ALE设备受上位机组态软件远程操作控制，或受每台所述ALD设备或ALE设备本地操作控制。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏鹏举半导体设备技术有限公司 半导体原子级工艺设备集中控制系统
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