买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：东领科技装备有限公司

摘要：本发明公开了一种连续生产用原子层沉积设备，涉及原子层沉积技术领域。本发明包括沉积设备本体，所述沉积设备本体的顶部固定安装有沉积腔室和离子清洗腔室，所述沉积腔室和所述离子清洗腔室的内部相连通，所述沉积腔室和所述离子清洗腔室的底部内壁均固定安装有电动滑轨，所述沉积腔室和所述离子清洗腔室之间设置有电动滑门，所述电动滑门与所述电动滑轨相适配。本发明通过设置预热组件，使得加热器控制各个保温液箱的温度保持一致，流动的换热液透过保温套管对进气管进行调温，当气体同步输送至各个喷淋盘中后，温度一致的进气管可以使气体在流动途中保持一致的温度，大幅缩小温差对晶圆表面沉积的单原子膜生长的影响，保证镀膜质量的一致性。

主权项：1.一种连续生产用原子层沉积设备，其特征在于，包括沉积设备本体（1），所述沉积设备本体（1）的顶部固定安装有沉积腔室（2）和离子清洗腔室（3），所述沉积腔室（2）和所述离子清洗腔室（3）的内部相连通，所述沉积腔室（2）和所述离子清洗腔室（3）的底部内壁均固定安装有电动滑轨（4），所述沉积腔室（2）和所述离子清洗腔室（3）之间设置有电动滑门（5），所述电动滑门（5）与所述电动滑轨（4）相适配，所述电动滑轨（4）上驱动安装有电动滑座（6），所述电动滑座（6）的顶部固定安装有运货架（7），所述运货架（7）的内部固定安装有多个由上至下均匀分布的承载板（8），所述沉积腔室（2）的两侧均固定安装有气体发生腔室（9），所述气体发生腔室（9）的一侧均固定安装有输气管（10），所述输气管（10）的一端均延伸至所述沉积腔室（2）的内部并固定安装有进气管（11），沿竖直方向上任意相邻的两个所述进气管（11）之间均固定安装有同一个连通管（15），所述沉积腔室（2）的底部内壁上固定安装有悬挂立架（12），所述悬挂立架（12）上固定安装有多个从上至下依次均匀分布的悬挂杆（13），所述悬挂杆（13）朝向所述离子清洗腔室（3）的一端均固定安装有喷淋盘（14），多个所述喷淋盘（14）的位置分别与多个所述承载板（8）的位置相对应，位于同一高度的两个所述进气管（11）均与所述喷淋盘（14）内部相连通，所述沉积腔室（2）的内部设置有预热组件；所述预热组件用于对每一个所述进气管（11）进行单独加热，使所述进气管（11）输出的气体温度保持一致；所述预热组件包括分别固定安装于所述沉积腔室（2）两侧内部上的多个保温液箱（16），多个所述保温液箱（16）由上至下均匀分布，多个所述保温液箱（16）的位置分别与多个所述喷淋盘（14）的位置相对应，所述保温液箱（16）的内部均设置有加热器与输液泵，所述保温液箱（16）的一侧均固定安装有两个输液管（17），所述进气管（11）上均固定套接有保温套管（18），位于同一侧的两个所述输液管（17）的一端均延伸至所述保温套管（18）的内部并相互固定连接，位于同一侧的其中一个所述输液管（17）的一端与所述输液泵的输出端相连通，另一个所述输液管（17）的一端与所述保温液箱（16）的内部相连通。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东领科技装备有限公司 一种连续生产用原子层沉积设备