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申请/专利权人：中国航空工业集团公司沈阳空气动力研究所
摘要：本发明涉及航空航天空气动力学地面测试领域，公开了一种阵列式原子层热电堆热流传感器，所述传感器包括传感器基座、信号引出端、敏感层基底、敏感层；所述的传感器基座上阵列排布多个凹槽，所述凹槽内粘接敏感层基底；所述的敏感层基底上沉积有敏感层；所述敏感层两端分别连接一个信号引出端；所述的敏感层通过信号引出端与外部测量设备连接。本发明有效解决了现有技术中采用单点式传感器阵列排布方式的安装结构复杂，而且分辨率较低问题，可实现多点同步测量，空间分辨率高，热流频响高。
主权项：1.一种阵列式原子层热电堆热流传感器，其特征在于，所述传感器包括传感器基座、信号引出端、敏感层基底、敏感层；所述的传感器基座上阵列排布多个凹槽，所述凹槽内粘接敏感层基底；所述的敏感层基底上沉积有敏感层；所述敏感层两端分别连接一个信号引出端；所述的敏感层通过信号引出端与外部测量设备连接；所述敏感层基底上开有通孔；所述敏感层基底上的通孔分别与凹槽内的通孔同轴对齐，使金属引线能够连续穿过传感器基座上的通孔和敏感层基底上的通孔；所述传感器基座与被测构件之间通过螺纹紧固件连接，所述传感器上的敏感层一侧的端面与被测构件表面边缘平齐；所述金属引线由传感器基座上阵列排布的多个凹槽内的小孔穿出，使用胶黏剂与传感器基座粘接在一起，再通过导电浆料使其与敏感层之间形成可靠的导电连接；所述传感器基座的材料为氧化铝陶瓷材料；所述的信号引出端由固化在敏感层两端的导电浆料和金属引线组成；所述敏感层基底为钛酸锶材料；所述敏感层为氧化钇钡铜材料，所述敏感层通过真空磁控溅射镀膜工艺沉积在敏感层基底外端面的两个通孔之间，厚度200nm～500nm，通过导电浆料使其与金属引线之间形成可靠电连接；所述传感器的形状为扇形；在传感器基座上沿径向和环向阵列排布多个外形尺寸相同的凹槽，用于安装敏感层基底，凹槽间距典型尺寸为径向3mm，环向5mm～5.3mm，凹槽典型尺寸为长度4mm，宽度2mm，深度0.5mm，与敏感层基底外形尺寸一致，敏感层基底放入凹槽后能够保持外端面边缘平齐。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国航空工业集团公司沈阳空气动力研究所 一种阵列式原子层热电堆热流传感器
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