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申请/专利权人：福建省佑达环保材料有限公司

摘要：本发明公开了一种用于蓝宝石衬底片抛光后的清洗组合物，按质量百分数之和为100%计，所述清洗组合物由以下质量百分数的原料制成：无机碱3‑15%、Gemini型聚醚磷酸盐表面活性剂1‑10%、渗透剂1‑5%、分散剂1‑8%，余量为水。本发明使用特定Gemini型聚醚磷酸盐表面活性剂的清洗组合物具有良好的除蜡、螯合、净洗、润湿、分散等作用，可以一次性对蓝宝石衬底片研磨抛光后残留的表面颗粒、蜡垢、灰尘等有机污染物进行有效去除，并且能解决业界存在的因“水合层”残留导致的难清洗问题，具有产品浓缩度高、清洗效果好、清洗良率高、使用寿命长、对环境友好等优点。

主权项：1.一种用于蓝宝石衬底片抛光后的清洗组合物，其特征在于，按质量百分数之和为100%计，由以下质量百分数的原料制成：无机碱3-15%、Gemini型聚醚磷酸盐表面活性剂1-10%、渗透剂1-5%、分散剂1-8%、余量为水；所述Gemini型聚醚磷酸盐表面活性剂的制备包括如下步骤：（1）三乙醇胺油酸皂的合成：将油酸和三乙醇胺按摩尔比1.2:1混合并加热至120℃，搅拌下反应2.5h后停止加热，保温15min，再降温至50℃以下，得到三乙醇胺油酸皂；（2）中间体I的合成：在氮气气氛下，在三乙醇胺油酸皂中加入催化剂KOH并进行搅拌加热，待温度升至170℃后，记录初始压力，并按与三乙醇胺油酸皂的摩尔比为12:1导入环氧乙烷至体系压力为0.3~0.4MPa后，保温进行反应，待反应压力降至初始压力时，停止加热，待温度降至80℃以下，抽真空脱除反应体系中残留的环氧乙烷，得到中间体I；其中催化剂用量为三乙醇胺油酸皂摩尔量的4%；（3）Gemini型聚醚磷酸盐表面活性剂A的合成：在搅拌条件下按摩尔比2:1在所得中间体I中加入P2O5，在70～80℃下反应4h后，加入适量蒸馏水，使生成的磷酸酯于80℃水解2h后蒸除溶剂，再加入含20wt%NaOH的乙醇溶液进行中和反应至体系pH=7~8，然后用无水乙醇除盐，蒸除溶剂，即得Gemini型聚醚磷酸盐表面活性剂，其结构通式如下： ，其中，n为1-10的整数；所述无机碱为氢氧化钾、氢氧化钠、碳酸钾、碳酸钠、无水偏硅酸钠、氢氧化铵中的一种或几种；所述渗透剂选自OEP-70、OEP-98、AEP、OE-35中的一种或多种；所述分散剂选自十二烷基苯磺酸钠、聚羧酸盐、丙烯酸均聚物钠盐、二辛基磺基琥珀酸钠、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮中的一种或几种。

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