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一种蓝宝石衬底片氧化铝抛光液及其制备方法 

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申请/专利权人:广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院

摘要:本发明公开了一种蓝宝石衬底片氧化铝抛光液及其制备方法。本发明的蓝宝石衬底片氧化铝抛光液由氧化铝粉体、分散剂、抛光增速剂、pH调节剂以及水组成,其中,所述分散剂为大分子分散剂,所述氧化铝粉体的粒径在0.5‑1.0μm。本发明的蓝宝石衬底片氧化铝抛光液采用大分子分散剂及细粒径的氧化铝粉体配制而成,悬浮性好、化学试剂添加少,且抛光效率高,成本低。本发明的蓝宝石衬底片氧化铝抛光液的制备方法能够实现所述蓝宝石衬底片氧化铝抛光液规模化生产。

主权项:1.一种蓝宝石衬底片氧化铝抛光液,其特征在于,按质量百分比计,由如下组分组成:氧化铝粉体20-30%,大分子分散剂1-5%,抛光增速剂1-10%,pH调节剂1-3%,余量为水;所述大分子分散剂为山梨醇、十二烷基硫酸钠、木质素磺酸钠、聚乙烯醇、甲基丙烯酸钠、乙二醇单丁醚以及丙二醇甲醚醋酸酯中的任一种或多种的混合物;所述氧化铝粉体的粒径在0.5-1.0μm;所述氧化铝粉体为α-氧化铝粉体;所述抛光增速剂包括聚乙二醇400、脂肪醇聚氧乙烯醚、甘油以及聚乙烯醇中的任一种或多种的混合物;所述pH调节剂为氢氧化钠、乙醇胺、二乙醇胺、氢氧化钾以及四甲基氢氧化铵中的任一种或多种的混合物。

全文数据:

权利要求:

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