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申请/专利权人：深圳市斯贝达电子有限公司

摘要：本发明涉及一种基于富勒烯薄膜折射率双补偿测试的光谱测试系统，包括：气瓶（1）、稳压阀（2）、流量计（3）、样品池（4）、迁移区（5）、光谱仪外部锥口（6）、光谱仪聚焦电极（7）、光谱仪内部锥口（8）、补偿电压（9）、方波射频电压（10）以及离子灯离子源（11），其中所述光谱仪基于富勒烯薄膜形成，在使用富勒烯薄膜前，对富勒烯薄膜的折射率使用富勒烯薄膜折射率双补偿测试系统进行测定。

主权项：1.一种基于折射率双补偿测试的光谱测试系统，其特征在于，包括：气瓶1、稳压阀2、流量计3、样品池4、迁移区5、光谱仪外部锥口6、光谱仪聚焦电极7、光谱仪内部锥口8、补偿电压9、方波射频电压10以及离子灯离子源11，其中所述光谱仪基于富勒烯薄膜形成，在使用富勒烯薄膜前，对富勒烯薄膜的折射率使用富勒烯薄膜折射率双补偿测试系统进行测定，其中所述富勒烯薄膜折射率双补偿测试系统包括：光纤端面折射率测试子系统、富勒烯薄膜折射率测试子系统、第一修正子系统以及第二修正子系统，其中：所述光纤端面折射率测试子系统用于获得折射率补偿系数-腔长的关系式，包括：进行光纤的折射率数据采集，通过改变两个光纤端面之间的腔长距离，采集多组干涉光谱并计算对应腔长；基于双光束干涉公式拟合所述多组干涉光谱并解算所述光纤端面的实测折射率；将所述实测折射率与标准光谱仪直接测得的光纤端面标准折射率进行对比，通过多项式拟合获得折射率补偿系数-腔长的关系式；富勒烯薄膜折射率测试子系统用于通过改变对准的单模光纤与富勒烯薄膜之间的距离，利用所述光纤端面折射率测试子系统采集的多组干涉光谱，基于双光束干涉公式拟合干涉光谱，从而解算所述富勒烯薄膜的实测折射率；所述第一修正子系统基于所述折射率补偿系数的表达式对所述富勒烯薄膜的实测折射率进行修正，从而获得富勒烯薄膜的第一修正折射率；所述第二修正子系统对于任意膜厚的第一修正折射率进行监测从而进行折射率的第二校准补偿，包括：①初始化：矫正光源不稳定及电子系统零点漂移引起的误差，同时精确确定CCD像元和谱线位置的对应关系；②监控富勒烯薄膜光谱特性曲线实时显示：实时高精度显示监控的富勒烯薄膜的光谱特性曲线是完成第二修正的基础；③富勒烯薄膜参数自动拟合：根据监测数据对第一修正折射率的数值进行微调，从而有效抑制误差的积累；④自动判停：当评价函数达到极小值式，停止拟合，获得的为富勒烯薄膜的第二修正折射率作为富勒烯薄膜的最终折射值；评价函数为统一富勒烯薄膜的第二修正折射率的曲线峰值与标准光谱仪获得的光谱曲线峰值之间差距最小；⑤根据测试需求确定该最终折射值是否能用于基于富勒烯薄膜折射率双补偿测试的光谱测试系统。

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