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申请/专利权人：中电科风华信息装备股份有限公司

摘要：本发明涉及半导体产品加工设备技术领域，具体涉及一种翘曲薄片产品插入卡塞的装置，主要解决现有卡塞装置存在的翘曲产品插入困难且易造成产品损伤的技术问题。所述翘曲薄片产品插入卡塞的装置包括固定架、Z向驱动副、卡塞组件、X向驱动副和翘曲检测组件，卡塞框架设为U形结构，X向驱动副带动产品伸入卡塞框架内完成产品的插入，并且对于翘曲产品，翘曲检测组件能够检测产品的翘曲度，使Z向驱动副根据产品翘曲度进行补偿升降，从而使得卡塞组件的卡槽对准产品，保证产品的顺利插入，同时也避免产品的损伤。

主权项：1.一种翘曲薄片产品插入卡塞的装置，其特征在于，包括：固定架（1）；Z向驱动副（2），其固定部相对所述固定架（1）固定，所述Z向驱动副（2）的移动部设有支承横板（21）；卡塞组件（3），其包括卡塞框架（31），所述卡塞框架（31）可拆卸固定在所述支承横板（21）上且前端敞口以形成U形结构，所述U形结构的内侧设有沿Z向分布的多组卡齿（32），每组卡齿（32）皆位于所述U形结构的腹部内侧和两个翼部内侧，且每组卡齿（32）用以卡撑一个产品（100）；X向驱动副（4），其位于所述卡塞框架（31）的敞口侧，所述X向驱动副（4）的固定部相对所述固定架（1）固定，所述X向驱动副（4）的移动部用以支撑产品（100），所述X向驱动副（4）的移动部具有伸入所述卡塞框架（31）内侧的工作状态和脱离所述卡塞框架（31）内侧的避让状态；翘曲检测组件（5），其包括检测支架（51），所述检测支架（51）相对所述固定架（1）固定，所述检测支架（51）上安装有翘曲传感器（52），所述翘曲传感器（52）通过检测其与产品（100）之间的距离判断产品（100）的翘曲度，所述翘曲传感器（52）位于所述X向驱动副（4）的移动部的上方且用以检测产品（100）的翘曲度，所述翘曲传感器（52）与所述Z向驱动副（2）通讯连接以使所述Z向驱动副（2）根据产品（100）翘曲度进行补偿升降；定位机构（6），所述定位机构（6）位于所述卡塞组件（3）的前侧，所述定位机构（6）包括分别位于所述X向驱动副（4）Y向两侧且对称分布的两套夹持组件（61），所述夹持组件（61）包括夹持驱动件（611），所述夹持驱动件（611）的驱动方向为Y向，所述夹持驱动件（611）的固定部相对所述固定架（1）固定，所述夹持驱动件（611）的移动部连接有夹持板（612），两套夹持组件（61）的夹持板（612）相互靠近以完成对产品（100）的夹持定位，所述定位机构（6）还包括设于所述固定架（1）上的产品定位传感器（62），所述产品定位传感器（62）与所述X向驱动副（4）通讯连接以使所述X向驱动副（4）收到产品定位信号后停止动作，所述产品定位传感器（62）还与所述夹持驱动件（611）通讯连接以使所述夹持驱动件（611）收到产品定位信号后驱动夹持板（612）Y向移动；产品到位传感器（7），所述产品到位传感器（7）设于所述固定架（1）上且用以检测产品（100）插入完成后的位置，所述产品到位传感器（7）与所述Z向驱动副（2）通讯连接以控制所述Z向驱动副（2）升降。

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