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申请/专利权人：深圳市博源碳晶科技有限公司
摘要：本发明涉及一种金刚石铜基复合材料及其制备方法。所述方法包括如下步骤：通过电感耦合等离子体法或阳极层离子源照射方式对金刚石粉末进行处理，得到粗糙化金刚石粉末；通过等离子体增强原子层沉积方法在所述粗糙化金刚石粉末的表面制备第一镀覆层，然后在第一镀覆层的基础上制备第二镀覆层，得到镀覆金刚石粉末；所述第一镀覆层为金属单质镀覆层；所述第二镀覆层为铜镀覆层；以镀覆金刚石粉末和铜粉为原料通过增材制造制得金刚石铜基复合材料。本发明可以制备出高热导率、高致密度和形状复杂的金刚石铜基复合材料。
主权项：1.一种金刚石铜基复合材料的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：（1）通过电感耦合等离子体法或阳极层离子源照射方式对金刚石粉末进行处理，在金刚石粉末表面形成粗糙度为80~100nm的表面微结构，得到粗糙化金刚石粉末；通过使得金刚石粉末表面形成粗糙度为80~100nm的表面微结构，表面微结构的改善，能够使得金刚石粉末与铜之间的热传导能力得到增强；（2）通过等离子体增强原子层沉积方法在所述粗糙化金刚石粉末的表面制备第一镀覆层，然后在第一镀覆层的基础上制备第二镀覆层，得到镀覆金刚石粉末；所述第一镀覆层由钛镀覆层和铜镀覆层组成，所述钛镀覆层相比铜镀覆层更靠近所述粗糙化金刚石粉末的表面；在所述第一镀覆层中，所述钛镀覆层与所述铜镀覆层的厚度比为1：（2~4）；所述第二镀覆层为铜镀覆层；在制备第一镀覆层时，以钛化合物、有机铜化合物为前驱体材料通过等离子体增强原子层沉积方法分别制备钛镀覆层、铜镀覆层；通过等离子体增强原子层沉积方法制备第一镀覆层的工艺条件为：激发源功率为50~20000W；反应气体为氢气或氨气；工艺气压为0.5~20Pa；工艺温度为30~300℃；采用等离子体增强原子层沉积方法能够使得金刚石粉末和第一镀覆层之间提高2倍以上的接触面积，从而提高复合镀覆层的导热通道；（3）以镀覆金刚石粉末和铜粉为原料通过增材制造制得金刚石铜基复合材料；制得的所述金刚石铜基复合材料具有高热导率，热导率不小于918W（m·K）。
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权利要求：
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