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申请/专利权人:江西创科新材料科技有限公司
摘要:本实用新型公开了一种氮化铝基板用抛光设备,属于抛光设备技术领域,包括载座,所述载座的上方设置有驱动电机,所述驱动电机的传动输出端键连接有传动轴,所述载座与所述传动轴的连接处开设有连接槽,所述载座的下端通过卡槽固定安装有抛光垫,所述载座于所述抛光垫的四周均开设有通腔。有益效果在于:本实用新型通过载座、驱动电机、抛光垫、通腔、风机、载架以及滤网的设计,能够使抛光设备采用镂空式载座,在抛光作业中,可以将抛光垫抛光产生的颗粒浮尘进行吸附收集,从而避免向四处逸散飞溅,进而确保周围的空气环境。
主权项:1.一种氮化铝基板用抛光设备,其特征在于:包括载座(1),所述载座(1)的上方设置有驱动电机(2),所述驱动电机(2)的传动输出端键连接有传动轴(3),所述载座(1)与所述传动轴(3)的连接处开设有连接槽(4),所述载座(1)的下端通过卡槽固定安装有抛光垫(5),所述载座(1)于所述抛光垫(5)的四周均开设有通腔(6),所述通腔(6)有四个且呈均匀分布,所述通腔(6)内一端均固定安装有风机(7),所述通腔(6)内中部均插接有载架(9),所述载架(9)上均通过卡槽安装有滤网(10)。
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百度查询: 江西创科新材料科技有限公司 一种氮化铝基板用抛光设备
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