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申请/专利权人:东曹株式会社
摘要:本发明提供与通过热压处理得到的以往的氮化镓的烧结体相比,烧结后的再氧化导致的氧含量增加得到抑制的高氮化镓的烧结体及其制造方法、以及其用途中的至少任一者。一种氮化镓的烧结体,其具有密度比烧结体内部高的表面层,并且镓相对于镓和氮的总和的原子量比超过0.5且为0.60以下。
主权项:1.一种氮化镓的烧结体,其具有密度比烧结体内部高的表面层,并且镓相对于镓和氮的总和的原子量比超过0.5且为0.60以下。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 东曹株式会社 氮化镓烧结体及其制造方法
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