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申请/专利权人：北京机械设备研究所
摘要：本发明公开了一种气体传感器及其制备方法，该方法包括如下步骤在硅基底上制备包括叉指电极和电路连接结构的气敏芯片；在所述气敏芯片上固定掩板，通过所述掩板将气敏芯片的电路连接结构遮挡并将所述叉指电极暴露；利用喷涂工艺向所述气敏芯片的局部喷涂气敏材料，借由所述掩膜板以在气敏芯片的叉指电极上形成气敏薄膜。本发明通过在静电喷涂工艺中引入掩板结构，使得在气敏芯片叉指电极上形成气敏薄膜，提升气敏薄膜成膜均匀性同时解决了保护电极过程中容易造成电极损坏的问题。并且气敏薄膜形成在气敏芯片叉指电极上，对叉指电极还能起到保护作用，避免空气中的漂浮物落入电极造成测量精确度不高，甚至造成短路等问题。
主权项：1.一种气体传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：在硅基底上制备包括叉指电极和电路连接结构的气敏芯片；在所述气敏芯片上固定掩板，通过所述掩板将气敏芯片的电路连接结构遮挡并将所述叉指电极暴露；利用喷涂工艺向所述气敏芯片的局部喷涂气敏材料，借由所述掩膜板以在气敏芯片的叉指电极上形成气敏薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京机械设备研究所 一种气体传感器及其制备方法
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