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申请/专利权人：泉州市三安集成电路有限公司
摘要：本发明公开了一种压电基板制造方法、复合基板及弹性波装置，该方法包括：根据目标注入深度在压电基板的主表面进行离子注入，并在压电基板中形成缺陷层；目标注入深度为压电基板的当前厚度与压电基板的目标厚度的差值；根据预设的剥离厚度，从压电基板的主表面侧，对所述压电基板进行剥离处理；对剥离处理后的压电基板进行抛光处理，去除缺陷层，得到目标压电基板，解决了传统技术中在控制压电基板厚度的同时，无法保证压电基板主表面的厚度均匀性问题，提高了压电基板的可靠性和有效性。
主权项：1.一种压电基板制造方法，其特征在于，包括：根据目标注入深度在压电基板的主表面进行离子注入，并在所述压电基板中形成缺陷层；所述目标注入深度为，所述压电基板的当前厚度与所述压电基板的目标厚度的差值；根据预设的剥离厚度，从所述压电基板的主表面侧，对所述压电基板进行剥离处理；所述剥离厚度小于所述目标注入深度；对所述剥离处理后的压电基板进行抛光处理，去除所述缺陷层，得到目标压电基板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 泉州市三安集成电路有限公司 一种压电基板制造方法、复合基板及弹性波装置
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