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申请/专利权人：上海芯东来半导体科技有限公司
摘要：本发明提供了一种高精度滑台组件及光刻机工作台，高精度滑台组件包括基座、滑台、滑台驱动部以及调节部；所述滑台用于承载晶圆载台；基座设有直线导轨，滑台安装于直线导轨，滑台驱动部连接于滑台以驱动滑台沿直线导轨运动。调节部的第一端连接于滑台驱动部，调节部的第二端转动连接于滑台的一端，调节部能够在滑台驱动部的驱动下绕滑台的一端朝靠近基座或者远离基座的方向转动。能够避免滑台在运动过程中发生轻微抖动和摩擦，提高了滑台静态性能和滑台组件的使用寿命。
主权项：1.一种高精度滑台组件，其特征在于，包括基座、滑台、滑台驱动部以及调节部；所述滑台用于承载晶圆载台；所述基座设有直线导轨，所述滑台安装于所述直线导轨，所述滑台驱动部连接于所述滑台以驱动所述滑台沿所述直线导轨运动；所述调节部的第一端连接于所述滑台驱动部，所述调节部的第二端转动连接于所述滑台的一端，所述调节部能够在所述滑台驱动部的驱动下绕所述滑台的一端朝靠近所述基座或者远离所述基座的方向转动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海芯东来半导体科技有限公司 高精度滑台组件及光刻机工作台
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