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回转平台组件及扫描电镜 

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申请/专利权人:北京中科科仪股份有限公司

摘要:本发明涉及真空设备技术领域,公开了一种回转平台组件及扫描电镜,回转平台组件包括:样品台底座,适于支撑固定样品台,并带动其做回转运动;驱动电机,其与样品台底座之间设置有传动组件,驱动电机适于通过传动组件驱动样品台底座转动;罩壳,包裹于驱动电机的外侧,以隔绝驱动电机运行时产生的感应磁场。本发明提供的回转平台组件,罩壳包裹于驱动电机外部,以将驱动电机运行时产生的感应磁场隔绝在罩壳内部,从而防止驱动电机运行时释放的磁力线对样品台处的电子束运动造成干扰,进而保证扫描电镜的观察效果。

主权项:1.一种回转平台组件,其特征在于,包括:样品台底座1,适于支撑固定样品台,并带动其做回转运动;驱动电机2,其与所述样品台底座1之间设置有传动组件3,所述驱动电机2适于通过所述传动组件3驱动所述样品台底座1转动;罩壳4,包裹于所述驱动电机2的外侧,以隔绝所述驱动电机2运行时产生的感应磁场。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 北京中科科仪股份有限公司 回转平台组件及扫描电镜

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