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氮化硅基板流延生坯回收利用方法 

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申请/专利权人:宜宾红星电子有限公司

摘要:本发明公开了一种氮化硅基板流延生坯回收利用方法,属于陶瓷制备技术领域。本发明为实现氮化硅基板流延生坯废料的回收利用,提供了一种氮化硅基板流延生坯回收应用方法,包括:将回收生坯进行真空预处理和粉碎,加入溶剂、增塑剂、分散剂及消泡剂,将粉碎的生坯分散化浆并过滤杂质;将回收生坯分散浆料与正常新配浆料按比例混合;然后经球磨、过滤、脱泡、陈腐,即可流延得到氮化硅流延生带。本发明的生坯回收应用技术不仅可以实现流延生坯废料的回收利用,大幅减少固体废物产出,并且显著降低了生带生产成本,可大规模生产应用。

主权项:1.氮化硅基板流延生坯回收利用方法,其特征在于:包括以下步骤:A、回收生坯经真空干燥后,进行破碎,然后将干燥破碎后的生坯和溶剂、分散剂混合进行化浆,再加入增塑剂和消泡剂,球磨后,出料过滤200~800目网筛及强磁过滤器,并检测粒度,得到回收生坯分散浆料;B、将步骤A所得回收生坯分散浆料和新制浆料进行混合,继续球磨,检测粒度后出料过滤,并进行真空脱泡处理,然后经陈腐和过滤200~800目网筛,得到流延浆料;C、将步骤B所得流延浆料进行流延成型,得到氮化硅流延生带。

全文数据:

权利要求:

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