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申请/专利权人：上海菲利华石创科技有限公司
摘要：本申请提供了一种石英玻璃制品成型方法及石英玻璃制品成型设备，属于半导体器件制造技术领域。方法包括：将石英玻璃板放置于石英玻璃制品成型模具上，并加热石英玻璃板至预处理温度；在预设保温时长内，对石英玻璃板进行保温处理；继续加热石英玻璃板至软化温度；当石英玻璃板的实际变形量L0达到第一预设变形值时，对石英玻璃制品成型模具的真空腔室抽真空；当石英玻璃板的实际变形量L0达到第二预设变形值时，石英玻璃板成型为石英玻璃制品，停止对真空腔室的抽真空操作。本申请提供的石英玻璃制品成型方法，可以降低石英玻璃制品的加工难度，减少材料消耗，提高石英玻璃制品的加工精度及产品合格率。
主权项：1.一种石英玻璃制品成型方法，其特征在于，包括：将石英玻璃板放置于石英玻璃制品成型模具上，并加热所述石英玻璃板至预处理温度；在预设保温时长内，对所述石英玻璃板进行保温处理，以使所述石英玻璃板维持在所述预处理温度；继续加热所述石英玻璃板至软化温度，以使所述石英玻璃板产生软化变形；当所述石英玻璃板的实际变形量L0达到第一预设变形值时，对所述石英玻璃制品成型模具的真空腔室抽真空，以使所述石英玻璃板在真空吸附作用力下产生变形；当所述石英玻璃板的实际变形量L0达到第二预设变形值时，所述石英玻璃板成型为石英玻璃制品，停止对所述真空腔室的抽真空操作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海菲利华石创科技有限公司 石英玻璃制品成型方法及石英玻璃制品成型设备
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