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申请/专利权人：上海菲利华石创科技有限公司
摘要：本申请提供了一种石英玻璃制品成型模具及石英玻璃制品成型方法，涉及石英玻璃制品生产技术领域，包括：成型壁、支撑壁和底座，所述成型壁、支撑壁和底座组合后构成一内部空间；所述内部空间设置有多个分隔壁，所述分隔壁适于将所述内部空间分割成多个腔室，所述腔室的顶部设有毛细孔，所述腔室的底部设置有独立的气孔。解决了重力和机械力在对石英玻璃制品进行塑形时存在缺陷，通过重力和机械力塑形完成的石英玻璃制品无法满足半导体外延工序对均匀光透过的要求。
主权项：1.一种石英玻璃制品成型模具，其特征在于，包括：成型壁、支撑壁和底座，所述成型壁、支撑壁和底座组合后构成一内部空间；所述内部空间设置有多个分隔壁，所述分隔壁适于将所述内部空间分割成多个腔室，所述腔室的顶部设有毛细孔，所述腔室的底部设置有独立的气孔。
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权利要求：
百度查询： 上海菲利华石创科技有限公司 一种石英玻璃制品成型模具及石英玻璃制品成型方法
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