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申请/专利权人:内蒙古中环晶体材料有限公司
摘要:本申请提供一种石英坩埚的制备方法,制备石英坩埚时,石英坩埚内层所用石英砂粒径与其外层所用石英砂粒径不同,且制备石英坩埚内层时所需的材料中至少有两种不同粒径的石英砂。本申请一种石英坩埚的制备方法,基于不同层的位置设计不同的石英砂粒径,通过调整其配置比例和搅拌步骤,以使不同粒径的石英砂搅拌均匀,再对石英坩埚进行制备;解决了由于石英砂粒径间杂质间隙,从而导致石英坩埚长时间高温运行析晶层容易脱落的技术问题,保证石英坩埚在拉晶时热源辐射均匀,降低石英坩埚内外表面腐蚀反应的机率,有效降低外层中的析晶层厚度,增加石英坩埚的使用寿命。
主权项:1.一种石英坩埚的制备方法,其特征在于,制备石英坩埚时,石英坩埚内层所用石英砂粒径与其外层所用石英砂粒径分布不同;制备石英坩埚内层时所需的材料中选取粒径交叉分布且均匀、并其范围为80-120μm的石英砂。
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权利要求:
百度查询: 内蒙古中环晶体材料有限公司 一种石英坩埚的制备方法
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