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申请/专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要：本发明提供一种硅片周转箱及硅片周装箱的使用方法，涉及硅片盛放装置技术领域，包括第一防护组件、第二防护组件、第三防护组件，第一防护组件包括底座、防护箱体、顶盖，防护箱体位于底座上部，顶盖位于防护箱体的上部，第二防护组件、第三防护组件位于底座、防护箱体、顶盖形成容纳空腔内，硅片放置在第三防护组件内，底座与防护箱体的下部连接，防护箱体的上部与顶盖连接，第二防护组件的底部与底座接触，第三防护组件镶嵌在第二防护组件内，第二防护的顶部与顶盖接触，以通过第一防护组件、第二防护组件、第三防护组件相互进行支撑、借力对硅片进行逐级防护，防止硅片在转运过程中受外力影响，导致硅片损伤，进而使得硅片浪费减少。
主权项：1.一种硅片周转箱，用于周转硅片，其特征在于，包括第一防护组件、第二防护组件、第三防护组件，所述第一防护组件包括底座、防护箱体、顶盖，所述防护箱体位于所述底座上部，所述顶盖位于所述防护箱体的上部，所述底座、防护箱体、顶盖形成容纳空腔，所述第二防护组件、第三防护组件位于所述底座、防护箱体、顶盖形成容纳空腔内，所述第二防护组件与所述第三防护组件上下交替放置在所述底座、防护箱体、顶盖形成的容纳空腔内，所述第二防护组件的侧面与所述防护形体的侧壁接触，硅片放置在所述第三防护组件内，所述底座与所述防护箱体的下部连接，所述防护箱体的上部与所述顶盖连接，所述第二防护组件的底部与所述底座接触，所述第三防护组件镶嵌在所述第二防护组件内，所述第二防护的顶部与所述顶盖接触，以通过第一防护组件、第二防护组件、第三防护组件对硅片进行三级防护。
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百度查询： 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 硅片周转箱及硅片周装箱的使用方法
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