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申请/专利权人：三菱综合材料株式会社
摘要：该传热部件是由包含氟系树脂或氟系弹性体的成型物的烧成体组成的传热部件，其中，使用遵照JISK6253‑3:2012的AM型硬度计所测量的所述传热部件的硬度比所述成型物的硬度低7以上。该传热部件具有高耐等离子体性，并且能够长期维持与各种部件的密接性高的状态。
主权项：1.一种传热部件，其是由包含氟系树脂或氟系弹性体的成型物的烧成体组成的传热部件，其中，使用遵照JISK6253-3:2012的AM型硬度计所测量的所述传热部件的硬度比所述成型物的硬度低7以上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三菱综合材料株式会社 传热部件、传热部件的制造方法及等离子体处理装置
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