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申请/专利权人：北京中科科仪股份有限公司
摘要：本发明提供的一种扫描电镜用热场发射电子枪的测试装置及方法，属于电镜扫描技术领域，一种扫描电镜用热场发射电子枪的测试装置包括：电子枪、主体、真空获得组件、荧光屏、偏转结构、真空计、束流计；在检测过程中，先将电子枪放置在主体的检测空间内，通过机械泵、分子泵和离子泵的配合使检测空间处于真空状态，随后通过荧光屏、偏转结构、真空计、束流计对扫描电镜用热场发射电子枪的性能进行定量评测，包括：对中性、耐压性、亮度、束偏转特性、阳极处电流和束流稳定度。通过本装置可以实现对电子枪进行多种性能测试，并且提高整体检测效率。
主权项：1.一种扫描电镜用热场发射电子枪的测试装置，其特征在于，包括：电子枪9，适于发射电子束；主体1，内部具有检测空间；真空获得组件2，与所述检测空间11连通，所述真空获得组件2适于对所述检测空间11进行抽真空工作；荧光屏3，设置在所述检测空间11内；所述荧光屏3适于接收所述电子枪9发射出的电子束，所述荧光屏3适于显示电子束斑的直径；偏转结构4，设置在所述检测空间11内，所述偏转结构4通过改变的磁场实现控制电子束的偏移；真空计5，设置在所述检测空间11内，所述真空计5适于实时监测检测空间11内的真空度；束流计6，设置在所述检测空间11内，所述束流计6适于接收所述电子枪9发射出的电子束，并得到电子束的束流值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京中科科仪股份有限公司 一种扫描电镜用热场发射电子枪的测试装置及方法
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