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申请/专利权人：矽电半导体设备(深圳)股份有限公司

摘要：本发明属于测试设备的技术领域，公开了一种抬升机构、测试平台及测试方法，其中抬升机构包括抬升组件、补偿组件、载物组件和控制中心，抬升组件包括转接板、多个丝杆驱动结构和多个位移传感器，补偿组件包括多个压电陶瓷，压电陶瓷能够上下伸缩调节，载物组件包括载物台、安装板和多个压力传感器，控制中心能够比较多个局部抬升高度的差异，并控制对应的压电陶瓷伸缩调整，以减少多个局部抬升高度之间的差异，控制中心能够计算多个局部压力的合力并将合力与基准范围比较，并控制多个压电陶瓷同步伸缩，以使合力位于基准范围内，进而，在载物台的平稳支撑下，使得半导体板以设定压力测试，满足测试要求。

主权项：1.一种抬升机构，其特征在于，包括：抬升组件（110），包括转接板（120）、多个丝杆驱动结构（130）和多个位移传感器（140），多个所述丝杆驱动结构（130）沿所述转接板（120）的周向布置并带动所述转接板（120）升降，所述位移传感器（140）与所述丝杆驱动结构（130）对应以测量所述转接板（120）的局部抬升高度；补偿组件（150），设置于所述抬升组件（110）的顶部，包括多个压电陶瓷（160），多个压电陶瓷（160）安装于所述转接板（120），所述压电陶瓷（160）能够上下伸缩调节；载物组件（170），设置于所述补偿组件（150）的顶部，包括载物台（180）、安装板（190）和多个压力传感器（200），所述载物台（180）位于所述安装板（190）的顶部，多个所述压力传感器（200）沿所述载物台（180）的周向布置于所述载物台（180）和所述安装板（190）之间，所述压力传感器（200）用于测量所述载物台（180）对所述安装板（190）的局部压力，所述安装板（190）设置于多个所述压电陶瓷（160）的顶部；控制中心；所述控制中心能够控制多个所述丝杆驱动结构（130）同步带动所述转接板（120）升降；所述控制中心能够比较多个所述局部抬升高度的差异，并控制对应的所述压电陶瓷（160）伸缩调整，以减少多个所述局部抬升高度之间的差异；所述控制中心存储有基准范围，所述控制中心能够计算多个所述局部压力的合力并将所述合力与基准范围比较，并控制多个所述压电陶瓷（160）同步伸缩，以使所述合力位于所述基准范围内；所述安装板（190）设置有多个连接件（370），所述连接件（370）对应连接所述压电陶瓷（160），所述连接件（370）包括连接所述安装板（190）的上连接体（380）和连接所述压电陶瓷（160）的下连接体（390），所述上连接体（380）的底部和所述下连接体（390）的顶部中的一个设置有内球面（400），所述上连接体（380）的底部和所述下连接体（390）的顶部中的另一个设置有与所述内球面（400）对应的外球面（410）。

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