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申请/专利权人:上海富乐华半导体科技有限公司
摘要:本发明涉及烧结技术领域。一种用陶瓷小球作为隔离物的DCB双面同时烧结的方法,在烧结炉的输送带上放置烧结治具,在烧结治具上从下至上依次摆放下铜箔、陶瓷基板以及上铜箔,进行双面烧结;所述烧结治具包括垫板,所述垫板的四周连接有限位框,所述垫板上铺设有陶瓷小球,所述限位框用于对陶瓷小球进行限位,所述下铜箔放置在所述陶瓷小球上方;所述陶瓷小球的外径为1‑5mm。本发明通过在垫板与铜箔之间设置有陶瓷小球,实现了下铜箔与垫板的隔离,降低隔离物与铜片接触面积,陶瓷小球也不会污染产品,实现了双面同时烧结。陶瓷小球与下铜箔的接触区域采用点阵式的点接触,提高了烧结时的抗剥落强度。
主权项:1.一种用陶瓷小球作为隔离物的DCB双面同时烧结的方法,其特征在于,在烧结炉的输送带上放置烧结治具,在烧结治具上从下至上依次摆放下铜箔、陶瓷基板以及上铜箔,进行双面烧结;所述烧结治具包括垫板,所述垫板的四周连接有限位框,所述垫板上铺设有陶瓷小球,所述限位框用于对陶瓷小球进行限位,所述下铜箔放置在所述陶瓷小球上方;所述陶瓷小球的外径为1-5mm;所述限位框包括前限位杆、后限位杆、左限位杆以及右限位杆;所述前限位杆以及后限位杆的邻近侧开设有第一滑槽,所述左限位杆以及右限位杆的前后两侧设置有与所述第一滑槽滑动连接的第一滑块;所述左限位杆以及所述右限位杆的邻近侧开设有第二滑槽,所述前限位杆以及所述后限位杆的左右两端设置有与所述第二滑槽滑动连接的第二滑块;还包括一上料定位系统,所述上料定位系统包括用于获取定位垫板的位置信息的摄像装置;所述垫板的四个角部中的三个角部存有信息识别标识,所述摄像装置通过对信息识别标识进行定位标记,获得垫板的信息识别标识的坐标点位置信息、中心点位置信息、垫板的长度信息以及宽度信息;根据坐标点位置信息,控制系统判断垫板是否摆放正确;所述输送带的一侧安装有用于对垫板位置进行矫正的矫正机构,所述矫正机构包括两个分别推动垫板第一直线方向不同侧的伸缩杆,两个伸缩杆用于垫板的周向扭转;所述伸缩杆的端部安装有滑动连接垫板的滑轨;所述矫正机构还包括推动垫板的第二直线方向上的侧壁的摆臂,所述摆臂用于垫板第一直线方向上沿着滑轨滑动;上铜箔、陶瓷基板以及下铜箔进行上料时,一旦上铜箔、陶瓷基板以及下铜箔的尺寸信息与所述垫板的长度信息以及宽度信息不匹配,控制系统进行故障提醒;控制系统控制下铜箔、陶瓷基板以及上铜箔依次以垫板的中心点位置信息作为摆放中心点进行摆放;矫正机构包括驱动摆臂旋转的驱动机构,驱动机构包括一伸缩气缸,摆臂呈L形,摆臂可转动的安装在机架上,伸缩气缸的端部安装有转轴;摆臂上开设有引导转轴滑动的腰形孔。
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